在微电子制造的精密链中，涂胶显影机扮演着至关重要的角色，它执行着晶圆表面光刻胶的精确涂布和显影过程，直接决定着图案的精细度和后续工艺的质量这些设备广泛应用于LED化合物半导体和集成电路的生产线上，其工艺流程严谨且影响深远精密对准与曝光涂胶工艺首先要求精准对准，无论是通过硅片上的notch；显影液要经过预热，达到设...