涂胶机和显影机集成在一起,俗称轨道Track,早期的集成电路工艺和较低端的半导体工艺中,此类设备往往单独使用Off Line。
涂胶机显影机退火设备检测设备测试设备氧化设备等产品中具有竞争优势,荷兰公司则在 高端光刻机外延反应器垂直扩。
SUSS接触式紫外曝光机,与此配套的SUSS自动涂胶机镀膜设备包括Picosun原子层沉积仪ALD,Lesker多源集成溅射仪,电子。
包括涂胶机喷胶机和显影机在早期的集成电路和较低端的半导体制造工艺中,此类设备往往单独使用随着集成电路制造工艺自动。
涂胶机和显影机集成在一起,俗称轨道Track,早期的集成电路工艺和较低端的半导体工艺中,此类设备往往单独使用Off Line。
涂胶机显影机退火设备检测设备测试设备氧化设备等产品中具有竞争优势,荷兰公司则在 高端光刻机外延反应器垂直扩。
SUSS接触式紫外曝光机,与此配套的SUSS自动涂胶机镀膜设备包括Picosun原子层沉积仪ALD,Lesker多源集成溅射仪,电子。
包括涂胶机喷胶机和显影机在早期的集成电路和较低端的半导体制造工艺中,此类设备往往单独使用随着集成电路制造工艺自动。
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